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Tnorのよもやま話～第18回～

投稿日 2025年8月25日

皆さんこんにちは！

株式会社Tnor、更新担当の中西です。

 

～“選ばれる洗浄工場”～

半導体・薬液関連の部品洗浄は、品質（清浄度）×安全（EHS）×スピード（リードタイム）の三立。
ここでは経営・工場長向けに、規格適合・溶剤運用・クリーン運用・データ化・サステナまで“仕組み”で強くする方法をまとめます。🧭

1｜EHSと法令遵守を“紙1枚”で回す 📜🧯

  • 化学物質管理：SDS・保管区分（可燃/酸/アルカリ/酸化剤）・相互禁忌をA4一枚でゾーニング図に。

  • 防爆：溶剤エリアは防爆換気・機器・アース、静電気対策（導電床・ESDガウン）。

  • 排気/排水：酸/アルカリスクラバー・活性炭/VOC対策、pH・COD・導電率の連続監視。

  • 教育：入社時＋月次で混用禁止・PPE・こぼれ対応の反復訓練。

  • 緊急対応：シャワー/アイウォッシュ・こぼれキット・通報手順の掲示。

⚠️ 高危険薬品（例：フッ化物）は専用室・二重容器・インターロック。代替処方の継続検討を。

2｜溶剤マネジメント：安全・原価・環境の三方よし ♻️

  • 選定：材適合・沸点・引火点・毒性・残渣を評価。

  • 在庫：ミニマム/マキシマム設定、ロット・有効期限でトレース。

  • 蒸留再生：減圧蒸留＋活性炭研磨でリユース率UP、異種混合の禁止を徹底。

  • VOC削減：密閉化・冷却凝縮・リドゥースドライで使用量▲。

  • 誤希釈ゼロ：RFID/バーコードで配合レシピを電子化、二名承認をルール化。

3｜品質システム：規格適合を“再現可能”にする 🧪✅

  • ISO9001等の上に、洗浄専用SOP（粒子/イオン/NVR）を標準化。

  • 工程FMEAで盲腔・表面粗さ・材適合・乾燥不良のリスクを先取り。

  • サンプリングはAQL＋SPCで管理、偏差/是正は8Dで高速クローズ。

  • CoC/CoAは電子署名、測定データは原データ添付で再解析可能に。

4｜クリーンルーム運用：人・モノ・設備の三重管理 🧑‍🔬🚪

  • 人：ガウン手順標準化、入退時の粒子モニタ、歩数短縮の動線。

  • モノ：前室での一次拭取り→二重包装、搬入箱の外装拭取りをルール化。

  • 設備：HEPA差圧・風速・温湿度を常時ログ、定期バリデーション。

  • 清掃：上→下、遠→近の順、薬剤は材適合で。

5｜DX：迷わない・探さない・止めない 📱🛰️

  • LIMS/MES：作業指示→記録→成績書まで一気通貫、改版履歴を残す。

  • トレーサビリティ：部品・治具・薬液ロットをQR/RFIDで紐付け。

  • センサー：粒子・VOC・pH・温湿度・差圧をリアルタイム監視→閾値通知。

  • ダッシュボード：一次合格率・リードタイム・再洗率を現場で見える化。

6｜サステナ：水・エネルギー・廃棄物を同時に削減 🌿⚡

  • UPWの回収再利用（最終リンス→粗洗工程へリワーク）。

  • 乾燥の省エネ：ヒートポンプ/N₂加熱の最適化・熱交換でkWh削減。

  • 溶剤使用量のKPI化（L/ロット）、再生率の目標管理。

  • 代替洗浄：可能な範囲で低毒性溶剤/水系へ転換を検討。

  • PFAS等の規制動向は材料・薬液選定ポリシーに反映。

7｜監査・顧客対応：見せる品質 📋👀

  • 立会い監査フロー：EHS→工程→計測→包装→出荷の一筆書き見学動線。

  • 抜取試験の当日提供（液中粒子・NVR・IC簡易）。

  • 逸脱/是正：24h一次報告→72h再発防止案の“スピード感”。

  • 変更管理：薬液/設備/包装のチェンジコントロールを文書化。

8｜“30日で変える”改善ロードマップ 🗺️⚙️

  • Day1–7：化学物質ゾーニングA4／こぼれ対応訓練／配合レシピの電子化着手

  • Day8–14：LIMSでトレーサビリティ紐付け開始／粒子・差圧のリアルタイム監視

  • Day15–21：UPWリワークの配管改修計画／蒸留再生の運用基準書

  • Day22–30：KPI（一次合格率/再洗率/溶剤L・UPWm³/ロット）公開→週次カイゼン定例化

9｜発注者チェックリスト✅

[ ] 材適合表と禁止薬品の提示
[ ] 目標清浄度と判定法（粒子/IC/NVR）
[ ] トレーサビリティ（部品・薬液・治具）の仕組み
[ ] 梱包仕様（クリーン袋/N₂/ラベル情報）
[ ] 逸脱時の24–72h報告体制
[ ] 監査受入・立会い試験の可否／成績書の電子発行

まとめ ✨

“選ばれる洗浄工場”は、EHSの強さ×品質の再現性×データの透明性で信頼を積み上げます。
溶剤・UPW・クリーン運用・DX・サステナを一本化し、同じ良さを速く。
明日からA4一枚の標準化とリアルタイム監視で、一段上の現場へ。🧼🏭📈

 

 

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